器件制造设备的废气处理系统-河北寰球才智网

器件制造设备的废气处理系统

国家：JP-日本

核心技术：器件制造设备的废气处理系统

行业领域：管理/咨询

发布单位：河北寰球才智网

项目单位：河北寰球才智网境外资源

合作方式：其他

2023-02-14 00:24:37 1

项目描述

通过对废气处理设备的管道内部减压，新系统不需要用氮气稀释来安全处理易燃的硅烷气体，从而使处理所需的能里的能量减少了约75% ，新系统可以很容易地用于除硅烷气体以外的其他需要稀释的易燃气体，并有望应用于使用氢气的制造设备，如硅片的氢气加工和外延生长等。

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